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4”晶圆退火烤箱

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    4”晶圆退火烤箱



洁净烤箱:

洁净烤箱概述:

洁净烤箱。是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内材料采用无尘材料,通过外置过滤器持续补充洁净气体,从而使烘箱工作室内达到无尘状态。

工作室内温度由温控仪智能控制,具备自动恒温及时间控制功能,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。

洁净工业烤箱详细资料:

一.特点:

1.在无尘洁净环境下使用,能够确保烘箱内部同样洁净;

2.全周氩焊,无尘电热器,机台不产微尘;

3.特殊风路设计,腔体内洁净度、温度均匀度十分优秀。

二.执行与满足标准

1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件

2.GB2423.2-1989试验B

3用途

洁净工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

三.产品技术参数

1.产品名称及型号:洁净烘箱

2.主要技术指标:

2.1温度范围: 60~ +300℃;

2.2温度均匀度:200℃±3℃、300℃±4℃;

2.3温度波动度:±0.5℃(空载)

2.4温控精度:±0.1℃;

2.5烘箱搁板为活动形式。

2.6电源:380v , 50Hz

四、完善的安全保护措施:

漏电断路器、

控制线路保险丝装置、

超温防止保护装置、

电热过电流保护装置、

马达过电流保护、

机台异常蜂鸣器警示

逆向防止器、

门安全开关

五、选购设备:

6.1 可程式温控器

6.2六点温度记录仪

6.3三色指示灯

6.4烘烤架





4”晶圆退火烤箱

 
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